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当机器视觉在拉单晶硅过程中的应用

发布时间:2021-09-11 17:48:10 阅读: 来源:PVC排水管厂家
当机器视觉在拉单晶硅过程中的应用

机器视觉在拉单晶硅过程中的应用

HewSight公司开发的单晶硅棒实时监控系统,采用高分辨率CCD相机、配合专业的机器视觉检测软件,可对单晶硅生长的整个过程进行监控,为晶体的直径控制提供必要的技术手段。

1 测量方法

在单晶硅炉的观察窗外架设一CCD相机,辅以隔热护罩及滤镜,从斜上方对固态晶体与液态融液的交界处形成的光圈进行测量。

可根据用户的要求定制与控制系统进行数据通讯的接口,如:将监控软件嵌入到组态软件中,或将数据转化成数字或模拟信号传送给控制器。

2 技术规格

· 可对4、6、8、12英寸的单晶硅棒进行测量。

· 可自动对引晶——放肩——收肩——等径过程中的晶体直径进行测量。

· 可对坩埚中的液面高度进行测量。

· 可检测晶种(籽晶)与液面的接触状态。

· 测量精度 0.1 mm。(注:按标准相机配置,采集分辨率1392×1040;可根据用户要求配置相机。)

· 测量速率:每秒15个数据。

3 算法特点

· 亚像素的边缘检测算法,精确检测出固液交界面的光圈上的点列。

· 高精度的椭圆拟合算法,可剔除晶癖线上的点、避免硅棒晃动的影响,准确的得到光圈的直径和中心。

· 采用FIR数字滤波器(Chebyshev最佳一致逼近)进行数据后处理,进一步去除由硅棒转动而产生的噪声,输出高信噪比的信号。

· 可根据用户需求定制特殊的检测项目。

4 软件特色

1) 可任意增加新的检测品种,只需重新设置参数即可。

2) 产品配置可保“1035”时期存,程序运行时选择待测产品的型号即可导入其配置参数。

3) 可手动或自动保存图像,并可设定最大保存数。

4) 可对已保存的图像进行回放,并查看图像处如果需实行较为精确的计算理结果。

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5) 在屏幕上直观的显示检测结果和状态信息,并可在不同的视图显示模式中切换。

6) 人机界面简单:只需大致调整处理区域并设置少量参数即可。

7) 有以下几点供参考: ◆ 夹具是不是使用方便、安全参数设置具有密码保护功能。

8) 自动软键盘,方便触摸屏操作。

9) 程序界面显示当前产品型号。

· 产品选择

· 图像参数设置

· 系统参数设置(力控组态软件通信设置)

· 拉晶全过程

· 数据滤波

(end)

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